最适于芯片移动，Handler 等半导体相关装备。 实现高速及稳定的应答性。

是小型，轻量的集中排线方式的 manifold 专用组合型真空发生器，可选择 D-sub连接类型及电缆连接类型。 操纵阀的消耗电量为 0.55W，是节能型式样。

是适于半导体装备及高速驱动装备的轻量，小型化组合型真空发生器。 可选择DIN轨固定式样及真空保护维持型式样。

在原有的破坏流量调整的基础上添加破坏压力调整功能，可防止吸附物的飞散及未解除现象。 在真空破坏回路上追加辅助功能，实现真空破坏时间的缩短。

总共18种类型的多种模块及丰富多样的组合，可满足客户的各种使用要求。 真空破坏阀可选择空气流量方式及电磁阀方式。

是真空供应阀，真空破坏阀，真空传感器，真空过滤器一体化的组合型真空发生器。 可选择开关输出+模拟输出，2点开关输出，模拟开关输出3中类型的传感器。