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最适于芯片移动,Handler 等半导体相关装备。 实现高速及稳定的应答性。(ON/OFF = 5msec 以下)
是小型,轻量的集中排线方式的 manifold 专用组合型真空发生器,可选择 D-sub连接类型及电缆连接类型。 操纵阀的消耗电量为 0.55W,是节能型式样。
是适于半导体装备及高速驱动装备的轻量,小型化组合型真空发生器。 可固定 DIN轨 ,可对应真空破坏时大幅度缩短到达大气压的 3端口式样。
追加破坏流量调整,破坏压力调整功能,可防止吸附物的飞散及未解除现象。 在真空破坏回路上追加辅助功能,实现真空破坏时间的缩短。
是适用于小型真空泵的原压控制。 可安装指针表示型或数码真空传感器。
可防止用一个真空泵或真空发生器使用多个吸盘时发生的吸附物掉落现象。
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