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是产品宽为 31.5mm,******吸入流量为 180l/min(ANR)的大流量组合型真空发生器。 喷口类型可选择单体喷口,双喷口,2段喷口。
最适于芯片移动,Handler 等半导体相关装备。 实现高速及稳定的应答性。
是小型,轻量的集中排线方式的 manifold 专用组合型真空发生器,可选择 D-sub连接类型及电缆连接类型。 操纵阀的消耗电量为 0.55W,是节能型式样。
是适于半导体装备及高速驱动装备的轻量,小型化组合型真空发生器。 可选择DIN轨固定式样及真空保护维持型式样。
在原有的破坏流量调整的基础上添加破坏压力调整功能,可防止吸附物的飞散及未解除现象。 在真空破坏回路上追加辅助功能,实现真空破坏时间的缩短。
总共18种类型的多种模块及丰富多样的组合,可满足客户的各种使用要求。 真空破坏阀可选择空气流量方式及电磁阀方式。
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